LAM 719-101612-887模块可能是LAM Research Corporation生产的一种静电吸盘(ESC)部件1。
静电吸盘(ESC)部件通常用于半导体晶片蚀刻和灰化设备中,通过静电场夹持晶片以实现精确对准和加工1。
该模块可能具有高夹持力、均匀静电场、低颗粒生成量等特点,能够确保晶片的安全夹持、精确对准和清洁处理1。
产品参数
零件编号:719-101612-887
产品类型:静电卡盘(ESC)元件
产品品牌:LAM Research Corporation
制造商:LAM Research Corporation
卡盘尺寸:未明确给出,但类似的LAM产品如LAM 839-101612-887具有200mm的卡盘尺寸1。
电压范围:未明确给出,但类似的LAM产品电压范围可能为0-1000V1。
电流容量:未明确给出,但类似的LAM产品电流容量可能为10A1。
真空兼容性:是
冷却剂兼容性:是